機械特性
DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀
一、概述
DSP-STC2258型(xing)多(duo)功能(neng)數字式(shi)四探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)試(shi)儀(yi)是運用(yong)四探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)量原理(li)測(ce)試(shi)電阻率(lv)/方阻的多(duo)用(yong)途綜合(he)測(ce)量儀(yi)器。該儀(yi)器設計符合(he)GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率(lv)測(ce)定方法(fa)》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率(lv)測(ce)定直流(liu)兩(liang)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)法(fa)》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率(lv)測(ce)定直流(liu)四探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)法(fa)》并(bing)參考美國(guo) A.S.T.M 標準。
儀(yi)器成套組(zu)(zu)成：由主機(ji)、選配(pei)的(de)四探針探頭、測試臺等部分(fen)組(zu)(zu)成。
主(zhu)(zhu)機主(zhu)(zhu)要(yao)由精(jing)密恒流源、高(gao)分辨率ADC、嵌入式單(dan)片機系統組成。儀(yi)器所有參數(shu)設定、功(gong)能(neng)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)全(quan)部采用數(shu)字(zi)化鍵盤輸入；具有零位、滿(man)度自校功(gong)能(neng)；電壓電流全(quan)自動轉(zhuan)(zhuan)換(huan)量程；測試(shi)(shi)結(jie)果(guo)由數(shu)字(zi)表頭直接顯示(shi)。本測試(shi)(shi)儀(yi)特贈設測試(shi)(shi)結(jie)果(guo)分類(lei)功(gong)能(neng)，*大(da)分類(lei)10類(lei)。
探(tan)(tan)頭選(xuan)配：根據不同材料特性需要(yao)，探(tan)(tan)頭可有多款選(xuan)配。有高耐磨(mo)碳化鎢探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)探(tan)(tan)頭，以測(ce)試硅類半(ban)導(dao)體(ti)、金(jin)(jin)屬、導(dao)電(dian)(dian)(dian)(dian)塑(su)料類等(deng)硬質(zhi)材料的(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)/方阻(zu)(zu)(zu)；也有球形鍍金(jin)(jin)銅合金(jin)(jin)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)探(tan)(tan)頭，可測(ce)柔性材料導(dao)電(dian)(dian)(dian)(dian)薄(bo)膜(mo)、金(jin)(jin)屬涂層或(huo)薄(bo)膜(mo)、陶瓷或(huo)玻璃(li)等(deng)基底上(shang)導(dao)電(dian)(dian)(dian)(dian)膜(mo)（ITO膜(mo)）或(huo)納米涂層等(deng)半(ban)導(dao)體(ti)材料的(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)/方阻(zu)(zu)(zu)。換上(shang)四端子(zi)測(ce)試夾(jia)具，還可對(dui)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)器(qi)體(ti)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)、金(jin)(jin)屬導(dao)體(ti)的(de)低(di)、中(zhong)值電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)以及(ji)開(kai)關類接(jie)觸電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)進行測(ce)量。配專(zhuan)用探(tan)(tan)頭，也可測(ce)試電(dian)(dian)(dian)(dian)池極(ji)片等(deng)箔上(shang)涂層電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)方阻(zu)(zu)(zu)。
測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)臺(tai)(tai)選(xuan)(xuan)配：一般(ban)四(si)(si)探(tan)針法測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)電阻率(lv)(lv)/方阻配SZT-A或(huo)SZT-B或(huo)SZT-C或(huo)SZT-F型(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)臺(tai)(tai)。二(er)探(tan)針法測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)電阻率(lv)(lv)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)選(xuan)(xuan)SZT-K型(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)臺(tai)(tai)，也可選(xuan)(xuan)配SZT-D型(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)臺(tai)(tai)以測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)半導(dao)體粉末電阻率(lv)(lv)，選(xuan)(xuan)配SZT-G型(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)臺(tai)(tai)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)橡塑材料(liao)電阻率(lv)(lv)。詳(xiang)見《四(si)(si)探(tan)針儀(yi)器(qi)、探(tan)頭和測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)(shi)臺(tai)(tai)的特點(dian)與選(xuan)(xuan)型(xing)(xing)參考》
儀器(qi)具(ju)有測量精度(du)高、靈敏度(du)高、穩定性好(hao)、智(zhi)能化程度(du)高、結構(gou)緊湊、使(shi)用(yong)簡便等特點。
儀器(qi)適用(yong)于半導(dao)體(ti)材料(liao)(liao)廠器(qi)件廠、科(ke)研單位、高等院校對導(dao)體(ti)、半導(dao)體(ti)、類(lei)半導(dao)體(ti)材料(liao)(liao)的導(dao)電性能的測試(shi)。
二、基本技術參(can)數
1. 測量范圍、分辨率（括號內為可向下拓展1個(ge)數量級） 電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω） 電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm） 方塊電阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□ （5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□） 2. 材料尺(chi)寸(cun)(由選配測試臺和(he)測試方(fang)式決(jue)定) 直 徑： SZT-A圓測(ce)試臺直接(jie)測(ce)試方(fang)式(shi) Φ15～130mm，手(shou)持方(fang)式(shi)不限 SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手(shou)持方式不限. 長(高)度(du)： 測(ce)試臺直接(jie)測(ce)試方(fang)(fang)式(shi) H≤100mm, 手持方(fang)(fang)式(shi)不限. 測量方位: 軸向、徑向均(jun)可 3. 量程劃分及誤差(cha)等級
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滿度顯示
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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常規量程
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kΩ-cm/□
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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*大拓(tuo)展(zhan)量程
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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mΩ-cm/□
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基(ji)本誤(wu)差
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±2%FSB
±4LSB
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±1.5%FSB
±4LSB
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±0.5%FSB±2LSB
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±0.5%FSB
±4LSB
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±1.0%FSB
±4LSB
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3.工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
4.外形(xing)尺寸： 245mm（長）×220 mm（寬(kuan)）×95mm（高）
凈 重：≤1.5～2.0kg
