機械特性
DSP-STC2258型多功能(neng)數字式四探針測試儀
一、概述
DSP-STC2258型多功能數字式四探針(zhen)測試儀是運用四探針(zhen)測量(liang)原理測試電(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)/方阻(zu)(zu)(zu)的多用途綜合測量(liang)儀器(qi)。該儀器(qi)設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶(jing)電(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶(jing)電(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)測定直流(liu)兩探針(zhen)法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶(jing)電(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)測定直流(liu)四探針(zhen)法》并參考美國(guo) A.S.T.M 標準。
儀器(qi)成(cheng)套組(zu)成(cheng)：由主機、選配的四探針探頭、測試臺等部分(fen)組(zu)成(cheng)。
主機主要由精(jing)密(mi)恒(heng)流(liu)源、高分(fen)辨(bian)率ADC、嵌入式單片機系統組成(cheng)。儀器(qi)所(suo)有參數設(she)定、功能轉換全部采用數字化(hua)鍵盤輸入；具(ju)有零位、滿度自(zi)校(xiao)功能；電壓電流(liu)全自(zi)動轉換量(liang)程；測(ce)試結(jie)果(guo)由數字表頭直接顯示。本(ben)測(ce)試儀特贈設(she)測(ce)試結(jie)果(guo)分(fen)類(lei)功能，*大分(fen)類(lei)10類(lei)。
探頭選(xuan)配(pei)(pei)：根(gen)據(ju)不同材(cai)料(liao)(liao)(liao)特性需(xu)要，探頭可有(you)多(duo)款選(xuan)配(pei)(pei)。有(you)高耐磨(mo)碳化鎢探針(zhen)探頭，以測試(shi)硅(gui)類(lei)半導體(ti)、金屬、導電(dian)(dian)(dian)塑料(liao)(liao)(liao)類(lei)等硬質材(cai)料(liao)(liao)(liao)的(de)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)率(lv)(lv)/方(fang)阻(zu)；也(ye)有(you)球形鍍金銅合(he)金探針(zhen)探頭，可測柔(rou)性材(cai)料(liao)(liao)(liao)導電(dian)(dian)(dian)薄膜(mo)(mo)、金屬涂(tu)層或(huo)薄膜(mo)(mo)、陶瓷或(huo)玻璃等基底上導電(dian)(dian)(dian)膜(mo)(mo)（ITO膜(mo)(mo)）或(huo)納米涂(tu)層等半導體(ti)材(cai)料(liao)(liao)(liao)的(de)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)率(lv)(lv)/方(fang)阻(zu)。換上四端子(zi)測試(shi)夾(jia)具，還可對電(dian)(dian)(dian)阻(zu)器體(ti)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)、金屬導體(ti)的(de)低、中值電(dian)(dian)(dian)阻(zu)以及開關類(lei)接觸(chu)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)進行測量。配(pei)(pei)專(zhuan)用探頭，也(ye)可測試(shi)電(dian)(dian)(dian)池(chi)極片等箔上涂(tu)層電(dian)(dian)(dian)阻(zu)率(lv)(lv)方(fang)阻(zu)。
測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)選(xuan)配：一般四探針法(fa)(fa)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)電(dian)阻(zu)率(lv)/方阻(zu)配SZT-A或(huo)SZT-B或(huo)SZT-C或(huo)SZT-F型測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)。二探針法(fa)(fa)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)電(dian)阻(zu)率(lv)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)選(xuan)SZT-K型測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)，也可選(xuan)配SZT-D型測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)以測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)半導體(ti)粉末電(dian)阻(zu)率(lv)，選(xuan)配SZT-G型測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)橡塑材料電(dian)阻(zu)率(lv)。詳(xiang)見《四探針儀器(qi)、探頭和測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)的(de)特點與(yu)選(xuan)型參考》
儀器(qi)具有測(ce)量精度(du)高、靈(ling)敏度(du)高、穩定性好、智能化程度(du)高、結構緊湊、使用簡便等特點。
儀器(qi)適(shi)用于半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)材料(liao)廠器(qi)件廠、科研單位(wei)、高等院校對導(dao)(dao)體(ti)(ti)、半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)、類半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)材料(liao)的(de)導(dao)(dao)電(dian)性能的(de)測(ce)試(shi)。
二、基本技術參數
1. 測(ce)量范圍、分辨率（括(kuo)號內為(wei)可向下(xia)拓展1個數(shu)量級） 電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω） 電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm） 方塊電阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□ （5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□） 2. 材料尺(chi)寸(由選(xuan)配(pei)測試臺和測試方式決(jue)定(ding)) 直(zhi) 徑： SZT-A圓測(ce)試(shi)(shi)臺直(zhi)接(jie)測(ce)試(shi)(shi)方(fang)式(shi) Φ15～130mm，手持方(fang)式(shi)不(bu)限 SZT-B/C/F方(fang)測(ce)(ce)試臺直接測(ce)(ce)試方(fang)式(shi)180mm×180mm，手持(chi)方(fang)式(shi)不限. 長(chang)(高)度： 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限(xian). 測量方位: 軸向、徑向均(jun)可 3. 量程劃分(fen)及誤差等(deng)級(ji)
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滿度顯示
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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常(chang)規量程
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kΩ-cm/□
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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*大拓展量程
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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mΩ-cm/□
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基(ji)本誤差
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±2%FSB
±4LSB
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±1.5%FSB
±4LSB
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±0.5%FSB±2LSB
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±0.5%FSB
±4LSB
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±1.0%FSB
±4LSB
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3.工(gong)作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
4.外(wai)形尺寸： 245mm（長）×220 mm（寬(kuan)）×95mm（高）
凈 重：≤1.5～2.0kg
