機械特性
DSP-STC2258型(xing)多功能數字式四探針測試儀
一、概(gai)述
DSP-STC2258型多功能數字(zi)式四(si)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)測(ce)試(shi)儀(yi)(yi)是(shi)運用四(si)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)測(ce)量原理測(ce)試(shi)電阻(zu)率(lv)(lv)/方(fang)阻(zu)的(de)多用途綜合測(ce)量儀(yi)(yi)器(qi)。該儀(yi)(yi)器(qi)設(she)計符合GB/T 1551-2009 《硅(gui)(gui)單晶(jing)(jing)電阻(zu)率(lv)(lv)測(ce)定方(fang)法(fa)(fa)》、GB/T 1551-1995《硅(gui)(gui)、鍺單晶(jing)(jing)電阻(zu)率(lv)(lv)測(ce)定直流兩探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)法(fa)(fa)》、GB/T 1552-1995《硅(gui)(gui)、鍺單晶(jing)(jing)電阻(zu)率(lv)(lv)測(ce)定直流四(si)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)法(fa)(fa)》并參(can)考美(mei)國(guo) A.S.T.M 標準。
儀器成套(tao)組(zu)(zu)成：由主機(ji)、選配的四探(tan)針(zhen)探(tan)頭(tou)、測試(shi)臺(tai)等(deng)部分組(zu)(zu)成。
主(zhu)機主(zhu)要由精密恒流源(yuan)、高分辨率ADC、嵌入式單片(pian)機系統組成(cheng)。儀器所有參數設定、功(gong)能(neng)轉換(huan)全(quan)部(bu)采用(yong)數字化鍵(jian)盤(pan)輸入；具有零位(wei)、滿度自校功(gong)能(neng)；電壓電流全(quan)自動轉換(huan)量程；測試結果(guo)(guo)由數字表頭直接(jie)顯(xian)示(shi)。本測試儀特(te)贈設測試結果(guo)(guo)分類功(gong)能(neng)，*大分類10類。
探(tan)(tan)(tan)(tan)頭(tou)(tou)(tou)選(xuan)配(pei)(pei)：根據不同材(cai)料(liao)特性需要，探(tan)(tan)(tan)(tan)頭(tou)(tou)(tou)可(ke)有(you)多款選(xuan)配(pei)(pei)。有(you)高耐磨碳(tan)化鎢探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)探(tan)(tan)(tan)(tan)頭(tou)(tou)(tou)，以(yi)測試硅類(lei)半導(dao)體、金屬(shu)、導(dao)電(dian)(dian)塑料(liao)類(lei)等(deng)(deng)硬質材(cai)料(liao)的電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率/方阻(zu)(zu)(zu)；也有(you)球形鍍金銅合金探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)探(tan)(tan)(tan)(tan)頭(tou)(tou)(tou)，可(ke)測柔性材(cai)料(liao)導(dao)電(dian)(dian)薄(bo)膜(mo)、金屬(shu)涂層(ceng)或(huo)薄(bo)膜(mo)、陶瓷或(huo)玻璃等(deng)(deng)基底上導(dao)電(dian)(dian)膜(mo)（ITO膜(mo)）或(huo)納米涂層(ceng)等(deng)(deng)半導(dao)體材(cai)料(liao)的電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率/方阻(zu)(zu)(zu)。換上四端子測試夾具，還(huan)可(ke)對電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)器體電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)、金屬(shu)導(dao)體的低、中值電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)以(yi)及開(kai)關(guan)類(lei)接(jie)觸電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)進行測量。配(pei)(pei)專用(yong)探(tan)(tan)(tan)(tan)頭(tou)(tou)(tou)，也可(ke)測試電(dian)(dian)池極片等(deng)(deng)箔上涂層(ceng)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率方阻(zu)(zu)(zu)。
測(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)(tai)選(xuan)配(pei)：一(yi)般四(si)探針(zhen)法測(ce)(ce)試(shi)(shi)電(dian)(dian)阻(zu)率(lv)/方阻(zu)配(pei)SZT-A或(huo)SZT-B或(huo)SZT-C或(huo)SZT-F型(xing)(xing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)(tai)。二探針(zhen)法測(ce)(ce)試(shi)(shi)電(dian)(dian)阻(zu)率(lv)測(ce)(ce)試(shi)(shi)選(xuan)SZT-K型(xing)(xing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)(tai)，也(ye)可選(xuan)配(pei)SZT-D型(xing)(xing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)(tai)以(yi)測(ce)(ce)試(shi)(shi)半導(dao)體粉末電(dian)(dian)阻(zu)率(lv)，選(xuan)配(pei)SZT-G型(xing)(xing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)(tai)測(ce)(ce)試(shi)(shi)橡(xiang)塑材料電(dian)(dian)阻(zu)率(lv)。詳見《四(si)探針(zhen)儀器(qi)、探頭(tou)和(he)測(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)(tai)的特點與(yu)選(xuan)型(xing)(xing)參考》
儀器具有測量(liang)精度(du)高、靈敏度(du)高、穩定性好、智能化程度(du)高、結構(gou)緊湊、使用簡便(bian)等特點(dian)。
儀器適用于半(ban)導體(ti)材(cai)料廠器件廠、科研單位、高等院校(xiao)對導體(ti)、半(ban)導體(ti)、類半(ban)導體(ti)材(cai)料的導電性能的測試。
二、基本(ben)技(ji)術(shu)參(can)數
1. 測量范圍、分辨率(lv)（括號內為可向(xiang)下拓展1個數量級） 電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω） 電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm） 方塊電阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□ （5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□） 2. 材(cai)料尺寸(由選配測(ce)試臺和測(ce)試方式決(jue)定) 直 徑： SZT-A圓(yuan)測試臺直接測試方(fang)式 Φ15～130mm，手持方(fang)式不限 SZT-B/C/F方(fang)測(ce)試臺(tai)直接(jie)測(ce)試方(fang)式(shi)180mm×180mm，手持方(fang)式(shi)不(bu)限(xian). 長(高)度： 測試臺(tai)直(zhi)接測試方(fang)式 H≤100mm, 手持方(fang)式不限. 測量方位: 軸向、徑向均可 3. 量程(cheng)劃分及(ji)誤差等級
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滿度(du)顯示(shi)
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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常規量程
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kΩ-cm/□
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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*大拓展(zhan)量程
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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mΩ-cm/□
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基本誤(wu)差
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±2%FSB
±4LSB
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±1.5%FSB
±4LSB
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±0.5%FSB±2LSB
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±0.5%FSB
±4LSB
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±1.0%FSB
±4LSB
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3.工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
4.外形尺寸： 245mm（長）×220 mm（寬(kuan)）×95mm（高）
凈 重：≤1.5～2.0kg
