機械特性
DSP-STC2258型多功能數字(zi)式四探針測試儀
一、概述
DSP-STC2258型(xing)多(duo)功能數字式四(si)探(tan)(tan)針測(ce)試儀是(shi)運用(yong)四(si)探(tan)(tan)針測(ce)量原(yuan)理測(ce)試電阻率(lv)/方(fang)阻的多(duo)用(yong)途綜合(he)測(ce)量儀器。該儀器設(she)計符(fu)合(he)GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率(lv)測(ce)定(ding)方(fang)法(fa)》、GB/T 1551-1995《硅、鍺(zang)單晶電阻率(lv)測(ce)定(ding)直流兩探(tan)(tan)針法(fa)》、GB/T 1552-1995《硅、鍺(zang)單晶電阻率(lv)測(ce)定(ding)直流四(si)探(tan)(tan)針法(fa)》并參考美國 A.S.T.M 標準。
儀器成套(tao)組(zu)成：由(you)主機、選(xuan)配的四(si)探針探頭、測試臺等部分組(zu)成。
主(zhu)機主(zhu)要由(you)精密恒流(liu)源、高分辨率ADC、嵌(qian)入式(shi)單(dan)片機系(xi)統組(zu)成。儀(yi)器所有參數(shu)(shu)設(she)定(ding)、功能轉換全部采(cai)用數(shu)(shu)字化(hua)鍵盤輸入；具有零位、滿度自(zi)校功能；電壓電流(liu)全自(zi)動轉換量程(cheng)；測試(shi)結果由(you)數(shu)(shu)字表頭直(zhi)接顯示(shi)。本測試(shi)儀(yi)特贈設(she)測試(shi)結果分類功能，*大分類10類。
探(tan)頭(tou)選配(pei)(pei)：根據不同材料特性需要，探(tan)頭(tou)可有(you)多(duo)款選配(pei)(pei)。有(you)高耐(nai)磨碳化鎢探(tan)針探(tan)頭(tou)，以測(ce)試(shi)硅類半導體(ti)、金(jin)屬、導電(dian)(dian)(dian)塑料類等(deng)(deng)硬質材料的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)率(lv)/方阻(zu)(zu)；也有(you)球形鍍金(jin)銅合金(jin)探(tan)針探(tan)頭(tou)，可測(ce)柔性材料導電(dian)(dian)(dian)薄(bo)膜、金(jin)屬涂(tu)層(ceng)或(huo)薄(bo)膜、陶瓷或(huo)玻(bo)璃(li)等(deng)(deng)基底上導電(dian)(dian)(dian)膜（ITO膜）或(huo)納(na)米涂(tu)層(ceng)等(deng)(deng)半導體(ti)材料的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)率(lv)/方阻(zu)(zu)。換上四端(duan)子測(ce)試(shi)夾具，還(huan)可對電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)器體(ti)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)、金(jin)屬導體(ti)的(de)(de)低(di)、中值電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)以及開關類接觸電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)進行(xing)測(ce)量。配(pei)(pei)專用探(tan)頭(tou)，也可測(ce)試(shi)電(dian)(dian)(dian)池(chi)極片等(deng)(deng)箔上涂(tu)層(ceng)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)率(lv)方阻(zu)(zu)。
測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)選(xuan)(xuan)配(pei)：一般四探(tan)針法(fa)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)電(dian)阻率/方阻配(pei)SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)。二(er)探(tan)針法(fa)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)電(dian)阻率測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)選(xuan)(xuan)SZT-K型(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)，也可選(xuan)(xuan)配(pei)SZT-D型(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)以測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)半(ban)導體粉末電(dian)阻率，選(xuan)(xuan)配(pei)SZT-G型(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)橡塑材料電(dian)阻率。詳見《四探(tan)針儀(yi)器、探(tan)頭和測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)臺(tai)的特點與選(xuan)(xuan)型(xing)(xing)參考》
儀(yi)器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構(gou)緊湊(cou)、使(shi)用簡便(bian)等特點。
儀器適用于半(ban)導(dao)(dao)體(ti)材料廠器件(jian)廠、科研(yan)單(dan)位、高等院校(xiao)對導(dao)(dao)體(ti)、半(ban)導(dao)(dao)體(ti)、類半(ban)導(dao)(dao)體(ti)材料的導(dao)(dao)電性(xing)能的測試。
二(er)、基本技術(shu)參(can)數
1. 測量范圍、分辨率（括號內(nei)為可(ke)向下(xia)拓展1個數(shu)量級） 電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω） 電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm） 方塊電阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□ （5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□） 2. 材料尺寸(由(you)選配測試臺和測試方式決定) 直(zhi) 徑： SZT-A圓(yuan)測試臺直(zhi)接測試方(fang)式 Φ15～130mm，手持方(fang)式不限 SZT-B/C/F方測(ce)試(shi)臺(tai)直接測(ce)試(shi)方式180mm×180mm，手持(chi)方式不限(xian). 長(高)度： 測試臺直接測試方(fang)式(shi) H≤100mm, 手持(chi)方(fang)式(shi)不限(xian). 測量方位: 軸向、徑向均(jun)可 3. 量程劃分及誤差(cha)等級(ji)
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滿(man)度(du)顯示
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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常規量程
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kΩ-cm/□
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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*大拓(tuo)展(zhan)量(liang)程
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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mΩ-cm/□
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基本(ben)誤差(cha)
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±2%FSB
±4LSB
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±1.5%FSB
±4LSB
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±0.5%FSB±2LSB
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±0.5%FSB
±4LSB
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±1.0%FSB
±4LSB
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3.工作電源(yuan)：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
4.外(wai)形尺寸： 245mm（長）×220 mm（寬）×95mm（高）
凈 重：≤1.5～2.0kg
